超音波小型液体流量計
省エネルギー法改正に伴うエネルギー管理に
ISO14001における環境用流量管理に
半導体装置の純水・薬液の流量管理に
・配管切断が不必要なクランプオン式センサ
・広いレンジアビリティー
・低消費電力、コンパクト設計、圧力損失ゼロ
・防浸筐体により屋外設置可能(SLF-500)
ラインナップ
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製品仕様
■超音波小型液体流量計（SLF-100）
SLF-100
| 変換器 | ||
| 型式 | SLF-100 | |
| 測定原理 | 超音波伝播時間差演算方式 | |
| 環境条件 | 温度：-10～50℃ | |
| 表示部 | LCD表示器(16文字×2行) 積算流量または瞬間流量 |
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| 測定項目 | フルスケール流量、流量単位、他 | |
| 測定精度 | ±2%RD(流速1～10m/s)ただし、流体中心温度±2℃ ±2cm/s(流速1m/s以下) |
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| 出力 | アナログ | DC4～20mA、負荷抵抗450Ω以下 |
| パルス | オープンコレクタDC30V、0.25A | |
| 警報接点 | オープンコレクタDC30V、0.25A | |
| 電源 | DC12～30V | |
| 消費電力 | 2.5VA以下 | |
| 重量 | 約330g | |
| センサー | ||
| 型式 | SLT-12、14、15型 | |
| 構造 | クランプオン式 | |
| 材質 | PVC、PTFE | |
| 測定対象 | 純水、薬液(別途ご相談下さい) | |
| 適合配管 | 配管口径 | SLT-12 3/4インチ(I.D.15.88 O.D.19.05) SLT-12 1/2インチ(I.D.9.53 O.D.12.70) SLT-12 3/8インチ(I.D.6.35 O.D.9.53) SLT-14 3/4インチ(I.D.15.88 O.D.19.05) SLT-14 1/2インチ(I.D.9.53 O.D.12.70) SLT-15 1インチ(I.D.22.23 O.D.25.4) SLT-15 3/4インチ(I.D.15.88 O.D.19.05) |
| 配管材質 | PFA | |
| 流体温度 | SLT-12：10～60℃ SLT-14：10～70℃ SLT-15：10～50℃ |
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| ケーブル長 | 5m(最大10m) | |
| 測定範囲 | 0.5～230L/min(インチ) 0.2～120L/min(3/4インチ) 0.1～40L/min(1/2インチ) 0.1～20L/min(3/8インチ) |
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| 重量 | SLT-12：約450g SLT-14：約350g SLT-15：約360g |
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■超音波小型液体流量計（SLF-500）
SLF-500
| 変換器 | ||
| 型式 | SLF-500 | |
| 測定方式 | 超音波伝播時間差演算方式 | |
| 演算方式 | μCPUによるデジタル演算方式 | |
| 測定精度 | ±2%RD(1m/s～10m/sの範囲) ±2cm(0m/s～1m/sの範囲) |
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| 測定流体 | 水、その他(音速値入力により対応) | |
| 測定流体温度 | 0～60℃ | |
| 適応配管 | 口径 | 15mm～300mm(外径20mm以上に対応) |
| 材質 | 塩ビ、SUS、その他(音速値入力) | |
| ライニング | タールエボキシ、モルタル、その他(音速値入力) | |
| アナログ出力レンジ | 流速換算で0～1m/sから0～10m/sの範囲で設定 | |
| 平均化時間 | 10秒標準(0秒～20秒の間1秒毎に可変) | |
| 構造 | 防浸形(IP65相当) | |
| 筐体材質 | ADC12 | |
| 塗装色 | マンセル5Y8/1.5 | |
| 設置温度範囲 | 0～+50℃ | |
| 設置湿度範囲 | 結露しないこと | |
| 電源 | AC85～264V 50/60Hz | |
| 消費電力 | 2.5VA以下 | |
| 取付寸法 | 50mmパイプ取付(パネルマウント、壁取付も可) | |
| アナログ出力 | 出力内容 | 瞬時流量(正流および逆流) |
| 出力信号 | DC4～20mA | |
| 負荷抵抗 | 450Ω以下 | |
| 出力時定数 | 0～20秒(1秒ステップ) | |
| 流量ローカット | 0～10%(1%ステップ) | |
| 接点出力 | 出力内容 | 正流積算パルス、逆流積算パルス、受波異常、上限流量、下限流量より任意で選択 |
| 出力信号 | オープンコレクタ無電圧接点 3点 | |
| 接点定格 | DC30V 0.25A | |
| 積算単位 | 0.1L、1L、10L、100L、1緕･、10緕･より選択 | |
| 積算パルス幅 | 1.6ms、50msecより選択 | |
| 積算ローカット | 0～10%(1%ステップ) | |
| デジタル出力 | 出力内容 | 瞬時流量、積算流量、アラーム情報 |
| 通信方式 | RS-232C | |
| LCD表示 | 16文字×2行(バックライト付) | |
| 表示内容 | 瞬時流量、積算流量 | |
| パラメーター設定項目 | FS流量、流量単位、積算単位、その他 | |
| 検出器 | ||
| 型式 | SLT-20S | |
| 材質 | エボキシ樹脂、SUS304 | |
| 検出器形状 | クランプオン(管外壁取付)型 | |
| 取付方式 | VまたはZ取付 | |
| 設置温度範囲 | -20～+60℃ | |
| 接続ケーブル | 標準10m 1.5C-QEV(塩ビ配管の場合最大30mまで延長可能) | |
| 重量 | 約400g | |
| 検出器設置条件 | センサー取付部から上流側に10D以上、下流部に5D以上の直管部を設けること(D：管内径) | |