超音波微少液体流量計
IPA・純水・薬液等の半導体製造工程における微少領域の流量管理に
・1ml/minからの微少流量測定
・デジタル信号処理による微少流量高精度測定
・センサ部分が流体に非接触構造
・広いレンジアビリティー
ラインナップ
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製品仕様
■微少液体流量計（センサ分離型）
μLF-300S
| 型式 | μLF-300S + μLT-8I (1/8 inch) または μLF-300S + μLT-4I (1/4 inch) |
| 測定原理 | 超音波伝播時間差方式 |
| 被測定液体 | 純水、水溶液、各種薬液 * 水以外の液体の場合は事前にご確認ください |
| 適応流体温度範囲 | 15℃～80℃ * 60℃以上でご使用の場合は事前にご確認ください |
| 流体圧力 | 0.5MPa 以下 |
| 流体動粘度 | 100mm^2/sec 以下 |
| 流量範囲 | 0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) 0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I) |
| 測定精度 | ±0.5%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min 条件：室温, 定温の水) ±1ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min) ±0.5%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min 条件：室温, 定温の水) ±4ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min) |
| 繰返し性 | ±0.2% (純粋, 液温±0.5℃, 30秒平均値) |
| 電源 | DC 24V ±10% |
| 消費電力 | 3.6W以下 |
| 重量 | 変換器 240g, 検出部 70g |
| サイズ WxHxD(mm) | 変換器 97 x 49 x 127 検出部 90 x 25 x 20 (チューブ含まず) |
| 検出部 | |
| チューブ素材 | PFA (フッ素樹脂) |
| チューブ径 | 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm |
| 構造 | IP65相当 |
| 付属ケーブル | 5m, コネクタ接続 |
| 入力部 | |
| デジタル出力 | 4線式RS-422, 4線式RS-485 |
| アナログ出力 | 4-20mA (瞬時流量), 負荷抵抗500Ω以下 |
| 積算パルス出力 | 1ch (オープンコレクタ) |
| アラーム出力 | 1ch (オープンコレクタ) |
| 接点入力 | 1ch (ゼロ流量設定又は積算クリア) |
| キー入力 | 4入力ボタン |